1、频率不同：MF磁控电源的频率一般为50Hz，而DC电源的频率为0Hz。2、输出电压不同：MF磁控电源的输出电压一般为交流电压，而DC电源的输出电压一般为直流电压。3、控制方式不同：MF磁控电源的控制方式是通过变压器的磁控来控。10-120KW 输入电源 AC380V 三相四线制 50-60HZ ±10 输出方式 直流 输出电压 空载800V 灭弧时间 ≤ 20uS 输出电流稳定率 0。5 冷却方式 10-60KW 风冷 60-120KW 水冷 使用环境 环境温度 0-40℃www。fajsy。com 环。这是正常的，一般直流溅射电源在功率调节旋流最小的情况下，一打开电源就会有一个电压值，随后此值会有所减小 。主要的溅射方法可以根据其特征分为以下四种：（1）直流溅射；（2）射频溅射；（3）磁控溅射；（4）反应溅射。另外，利用各种离子束源也可以实现薄膜的溅射沉积。 现在的直流溅射（也叫二级溅射）较少用到，原因是溅射气压较高，可以，只要是能导电的靶就通用直流 。不能直接接交流，它需要连接220V的变压器，2100V高压电容和高压二极管。从而构成一个4000多V的电路，才能产生足够的微波！