直流磁控溅射电源_直流电源型号_扬州凯弘电源科技有限公司

直流磁控溅射电源

2024-07-06

这是正常的，一般直流溅射电源在功率调节旋流最来自小的情况下，一打席拿镇置费建是续鲜开电源就会有一个电压值，随后此值会有所减小。使用直流电源，电子方向始木田方衡终统一，会导致单一种类电荷堆积过高与控制源中和。也就是说用来提供动力的正负极被中和了。然后磁控溅射将不再继续。所以采用现居还脉冲电源。磁控溅射的电源现在一般分为:直流电源、射频电源、直流脉冲电源、中频电源。直流电源，适用于金属靶材

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