直流溅射电源

2024-11-19
这是正常的,一般直流溅射电源在功率调节旋流最小的情况下,一打开电源就会有一个电压值,随后此值会有所减小。使用直流电源,电子方向始终统一,会导致单一种类电荷堆积过高与控制源中和。也就是说用来提供动力的正负极被中和了。然后磁控溅射将不再继续。所以采用脉冲电源。使用直流电源,电子方向始终统一,会导致单一种类电荷堆积过高与控制源中和。也就是说用来提供动力的正负极被中和了。然后磁控溅射将不再继续。所以采用脉冲电源。 真。磁控溅射电源现在一般分为:直流电源、射频电源直流脉冲电源、中频电源直流电源,适用于金属靶材,并在溅射中沉积金属膜层。直流电源,离子轰击靶材的能量不足以溅。这样的就叫做磁控溅射。 而二级直流溅射电源,一般频率较低(<10KHz),称为低频溅射;电源用作中频(>10KHz,<80KHz),称为中频溅射;电源用作高

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