直流射频电源

2024-11-27
直流就是电压(电流)永远在“正”象限内,交流是“正”“负”交替,所以交流都是有一定的频率的,例如工频、高频,那么射频就是非常非常高的频率。———我尽量用非专业的词汇来讲了,希望你能听懂。Frequency ,简称RF。射频就是射频电流,它是一种高频交流变化电磁波的简称。每秒变化小于1000次的交流电称为低频电流,大于10000次的称为高频电流,而射频就是这样一种高频电流。射频技术的分类:自动识别技术 自动设备识别技术。射频电源是等离子体配套电源,它是由射频功率源,阻抗匹配器以及阻抗功率计组成,是八十年末期在我国新兴的高科技领域,应用于射频溅射,PECVD 化学气相沉积,反应离子刻蚀等设备中。现代的射频电源有了长足发展,由八十年代的电子管电。射频原理电阻:阻挡电流通过的物体或物质,从而把电能转化为热能或其它形式的能量,单位:欧姆,Ω 电压:电位或电位差,单位:伏特,V 电流:单位时间内通过电路上某一确定点的电荷数,单位:安培,A 电感:线圈环。射频电源(RF generator)是用来产生射频电功率的电源,可以用来加热。射频电源与是等离子体工业设备上的驱动源,主要用在镀膜、等

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